多軸密封傳動裝置主要為機械手而設計,這類產(chǎn)品廣泛應用于半導體的加工和生產(chǎn),同時我們也有10-8Torr的超高真空用密封裝置。
Ferrotec提供的FerroDrive集成電機磁流體真空傳動裝置將一個密封Ferrofluidic真空磁流體、一個高精度電機以及控制器集成起來,為客戶提供一件緊湊且高性能的密封旋轉系統(tǒng)。這種設計根除了客戶在聯(lián)接分立部件時遭遇到的整合挑戰(zhàn)以及潛在的機械故障點。同軸驅(qū)動磁流體裝置經(jīng)典應用領域包括:MOCVD、薄膜產(chǎn)業(yè)、光學鍍膜、離子束沉積、離子束刻蝕、物理氣相沉積、離子濺射、離子注入以及任何需要應用電機的場合,特別是需要伺服電機的場合。
空心軸密封傳動裝置有一個卡箍,它通過0型圈密封把用戶軸和密封裝置的轉軸連在一起。運用的典型例子就是濺射設備,其中例如電子、中性子或離子的注入用旋轉單元、旋轉物架以及X射線和光學機器??招妮S密封傳動裝置有通孔型、法蘭型等,也可以按照用戶的要求進行特殊設計或不帶卡箍。
我們有多重實心軸傳動裝置,例如:微型、通孔型、法蘭型、重負載型,適用于各種場合。除小徑的轉軸外,轉軸的動力裝配部和用戶安裝部的形狀有標準的鍵槽以外,還能根據(jù)用戶的要求,設計、制造多重配合形式,如扁平面、螺紋連接、孔連接等。我們的標準公制密封傳動裝置也有適用于高溫、重負載、高速場合時的水冷形式(除一些微型、通孔型磁性流體密封裝置以外)