不銹鋼真空腔體
· Ferrotec真空事業(yè)部不銹鋼腔體月產(chǎn)可突破350臺以上；
· 現(xiàn)有最大體積可達(dá)5185mm長*2100mm寬*2330mm高；
· 擁有美國ASME及GB鍋爐和壓力容器規(guī)范D1和D2資格認(rèn)證。
不銹鋼腔體具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低、真空度處于0.1-10-5Pa之間，能夠在-270—900℃工作等優(yōu)點。加工過程中必須要求：焊接縫在腔內(nèi)、腔內(nèi)400目拋光、腔體進(jìn)行電解拋光。
不銹鋼腔體主要由SUS304或SUS316材料氬弧焊接而成，廣泛應(yīng)用于PVD,PECVD,CVD,MOCVD,OLED,刻蝕設(shè)備及低溫制冷行業(yè)。
