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杭州中欣晶圓:大晶圓里的“智造”秘密
2020-07-16

    2009年杭州提出將服務(wù)業(yè)打造成為“首位經(jīng)濟(jì)”,十年后杭州再提出“新制造業(yè)計(jì)劃”,讓數(shù)字經(jīng)濟(jì)與制造業(yè)并駕齊驅(qū),成為拉動未來杭州城市經(jīng)濟(jì)發(fā)展的“雙引擎”。

    如果說,杭州向西連綿的濕地丘陵孕育著以“一帶、三城、多鎮(zhèn)”為核心的城西科創(chuàng)大走廊,代表杭城科創(chuàng)研發(fā)的未來;那么杭州向東連片的平原腹地便是制造產(chǎn)業(yè)落地生根、開花結(jié)果的沃土,承載杭城新制造的崛起。

    猶如奔涌的錢塘江水,一路向東涌入浩瀚遼闊的杭州灣。杭州崛起的新制造,正迎著東方的朝陽不斷蓄力,以擁抱更加開闊的國際舞臺。(盧常樂)

    跨過江東大道,江面的水霧散盡,杭州新制造的新世界在眼前打開。一座座靜默如山的工廠、基地,如果不是親自前往,你永遠(yuǎn)無法知道這樣一座座“普通”的建筑下,藏著怎樣的能量與未來。

    比如,在杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司的無塵車間里,8英寸的半導(dǎo)體晶圓每月可產(chǎn)出40萬枚。

    切片、倒角、研磨、腐蝕、拋光……在這里,一枚半導(dǎo)體晶圓的制造要經(jīng)歷十多道工序。跟所有的工作人員穿潔凈鞋進(jìn)出一樣,21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報道記者也戴上了鞋套,試圖探究薄薄的硅晶圓片蘊(yùn)含著的技術(shù)秘密。

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    如果說芯片刻錄是集成電路的一場華麗舞蹈,那么硅晶圓片便是承載它起舞的舞臺。而杭州中欣晶圓則是舞臺的搭建者,主要從事高品質(zhì)集成電路用半導(dǎo)體硅晶圓片的研發(fā)與生產(chǎn)制造。

    2017年9月落地錢塘新區(qū)的中欣晶圓,填補(bǔ)了杭州集成電路產(chǎn)業(yè)制造環(huán)節(jié)的短板,也是目前國內(nèi)規(guī)模最大的半導(dǎo)體大晶圓片生產(chǎn)商。

    近三年來,杭州中欣晶圓相繼突破8英寸、12英寸的大晶圓生產(chǎn)。當(dāng)下,在集成電路產(chǎn)業(yè)于全國遍地開花的浪潮中,中欣晶圓還將在杭州這片土地上創(chuàng)造更多奇跡,邁向更高目標(biāo),推動杭州集成電路產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步發(fā)展。

瞄準(zhǔn)大晶圓的生產(chǎn)機(jī)遇

    在這個信息化高度發(fā)達(dá)的時代,由晶圓制成的芯片可謂是智能產(chǎn)品的“心臟”。小到太陽能電池、傳感器,大到智能家電、無人汽車都可見它的身影。

    而作為基底材料,硅晶圓對于信息化產(chǎn)業(yè)的發(fā)展有著重要的作用,尤其是大晶圓大芯片,更是相關(guān)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要支撐。

    “中國市場對大尺寸半導(dǎo)體晶圓的需求量是很大的,但國內(nèi)現(xiàn)在只能滿足4-6英寸的晶圓片,8英寸以及高端的12英寸大晶圓片自主供應(yīng)能力弱,主要依賴進(jìn)口?!焙贾葜行谰A總經(jīng)理郭建岳在接受21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報道記者采訪時介紹道。

而杭州中欣晶圓正是瞄準(zhǔn)了這一市場。

    去年年底,杭州中欣晶圓宣布12英寸大晶圓試生產(chǎn)成功,這是繼8英寸大晶圓片之后該公司取得的又一關(guān)鍵產(chǎn)能進(jìn)度。填補(bǔ)了國內(nèi)相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的空白,進(jìn)一步充實(shí)了杭州半導(dǎo)體行業(yè)的整體技術(shù)實(shí)力。

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    當(dāng)前,杭州中欣晶圓擁有年產(chǎn)1,260萬枚硅晶圓的生產(chǎn)能力,其中8英寸產(chǎn)線已具備40萬片的月產(chǎn)能,12英寸實(shí)現(xiàn)3萬片月產(chǎn)能并將按原定計(jì)劃于今年年底達(dá)到10萬片月產(chǎn)能,這也將是國內(nèi)12英寸晶圓規(guī)?;a(chǎn)的一次突破。其將打破國外公司對半導(dǎo)體硅晶圓市場長期壟斷的局面,大大緩解我國半導(dǎo)體大晶圓供應(yīng)不足的短板。

    “杭州將成為我們重要的產(chǎn)業(yè)基地,作為我們的研發(fā)中心,進(jìn)行大批量產(chǎn)品生產(chǎn),推進(jìn)特色工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目建設(shè)?!惫ㄔ勒f杭州中欣晶圓在公司的整體產(chǎn)業(yè)布局中,將成為核心組成部分之一。

    從全國布局來看,通過整合Ferrotec集團(tuán)的半導(dǎo)體硅晶圓產(chǎn)業(yè),杭州中欣晶圓將成為Ferrotec半導(dǎo)體硅晶圓的旗艦企業(yè),形成以杭州工廠、上海工廠、銀川工廠三地一體化的硅晶圓產(chǎn)業(yè)格局。

    目前,杭州中欣晶圓已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了從半導(dǎo)體單晶硅棒拉制到100mm -300mm半導(dǎo)體晶圓片加工的完整生產(chǎn)?,F(xiàn)擁有9條8英寸(200mm)生產(chǎn)線、2條技術(shù)成熟的12英寸(300mm)生產(chǎn)線。

    值得注意的是,其中300mm生產(chǎn)線是目前國內(nèi)首條擁有核心技術(shù)、真正可實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的半導(dǎo)體硅晶圓生產(chǎn)線。

    “接下來,我們一方面要繼續(xù)推進(jìn)12英寸大晶圓實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)供應(yīng),另一方面要重點(diǎn)提高晶圓平坦度滿足不斷升級的芯片需求,打造好產(chǎn)品內(nèi)在品質(zhì)?!?/p>

補(bǔ)鏈杭州,助力“杭州智造”

    作為全國較早布局集成電路產(chǎn)業(yè)的城市之一,杭州已逐步涵蓋集成電路材料、設(shè)計(jì)、制造、封裝測試等全產(chǎn)業(yè)鏈領(lǐng)域,不過相較于產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢明顯的設(shè)計(jì)等領(lǐng)域,集成電路相關(guān)的制造基礎(chǔ)相對薄弱是不爭的事實(shí)。

    在此背景下,杭州中欣晶圓半導(dǎo)體大晶圓項(xiàng)目的正式投產(chǎn),在產(chǎn)業(yè)鏈上正彌補(bǔ)了這一短板。從6英寸到8英寸,再到12英寸,不斷突破的晶圓尺寸,一定程度上也代表著杭州集成電路產(chǎn)業(yè)正大步向前快速邁進(jìn)的發(fā)展態(tài)勢。

    “杭州有著優(yōu)越的產(chǎn)業(yè)發(fā)展條件,為新興半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了良好的基礎(chǔ)。同時,杭州的高校資源與人才也將成為我們發(fā)展的強(qiáng)勁動力?!惫ㄔ廊缡钦f。

    此外,郭建岳還表示,中欣晶圓落地杭州,同時也是在接軌長三角,對于打通產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè),將12英寸大晶圓制造的影響力輻射到更廣的地區(qū),具有重要的產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義。

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    毫無疑問,在長三角一體化的發(fā)展進(jìn)程中,杭州與中欣晶圓都將面臨更多產(chǎn)業(yè)機(jī)遇。

    近日,杭州市發(fā)改委發(fā)布《杭州市2020年重點(diǎn)實(shí)施項(xiàng)目形象進(jìn)度計(jì)劃》《杭州市2020年重點(diǎn)預(yù)備項(xiàng)目前期工作計(jì)劃》,包括重點(diǎn)實(shí)施項(xiàng)目374個、重點(diǎn)預(yù)備項(xiàng)目78個,其中有多個半導(dǎo)體/集成電路領(lǐng)域相關(guān)的項(xiàng)目。

    以晶圓為代表的集成電路產(chǎn)業(yè),是匯聚人才、資金、技術(shù)的“三高型”產(chǎn)業(yè),可以預(yù)見,隨著杭州集成電路產(chǎn)業(yè)鏈不斷健全壯大,產(chǎn)業(yè)集聚效益正快速顯現(xiàn),無疑將給杭州集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入新的動能。

    “隨著5G的到來,物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能等領(lǐng)域迎來新的發(fā)展機(jī)遇,集成電路產(chǎn)業(yè)也有望在未來幾年迎來新一輪產(chǎn)業(yè)爆發(fā),這些8英寸、12英寸大晶圓,將在新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮更大的市場作用。”他說。

    郭建岳表示,8英寸晶圓多用于大尺寸面板驅(qū)動IC、電源管理芯片、指紋識別、傳感器以及電動汽車、高鐵等功率器件;12英寸晶圓的應(yīng)用則主要是處理器和存儲器等邏輯產(chǎn)品,比如無人駕駛等領(lǐng)域。上述產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域也是杭州等核心城市正大力推動發(fā)展的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,其未來發(fā)展空間著實(shí)令人期待。

    在采訪中,有一處細(xì)節(jié)值得分享。21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報道記者了解到,杭州中欣晶圓約15萬平方米的廠房,僅有300余名工人,高度自動化與機(jī)械化,以及產(chǎn)品價值追求的高端化,成為這座工廠給人最直觀的感受。

    在如今的錢塘新區(qū),類似中欣晶圓的新制造企業(yè)正在一座座拔地而起,向外釋放著杭州新制造向東的強(qiáng)大引力波,吸引著越來越多的高端智造企業(yè)在杭州加速匯聚,助推杭城制造業(yè)邁上高質(zhì)量發(fā)展的軌道。

轉(zhuǎn)自:21財(cái)經(jīng)