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精密石英

Ferrotec（中國）精密石英では高品質(zhì)の輸入原材料を使用し、最先端の加工プロセスにより処理されます。20年以上の研究開発生産を経て、Ferrotecは12"インチ，8"インチ及び8"インチ以下の半導(dǎo)體製造裝置用の石英製品を量産化することが可能になりました。また、次世代の18"石英製品を研究開発能力も持っています。同時に顧客の要求に合わせた原材料による加工生産が可能です。

精密石英分類

Ferrotec（中國）は顧客要求を満たす為、多種多様な石英製品を加工することができます。精密加工技術(shù)、溶接技術(shù)、表面処理（洗浄）技術(shù)の三大要素技術(shù)の優(yōu)位性は、グローバル視野を持つプロフェッショナル集団により支えられ、顧客に世界一流品質(zhì)の製品を提供しています。

石英チューブ

プロセスチューブ、インナーチューブ、アウトチューブ、爐芯管、インジェクターなどの製品があります。主に半導(dǎo)體拡散、酸化、成膜、熱処理等シリコンウェーハー表面処理プロセス設(shè)備に使われています。これらの設(shè)備は接合寸法、クリーン度、シール度の高い要求が有ります。

石英ボート

5インチ、6インチ、8インチ、12インチ規(guī)格のボートに分かれ、各々の表面処理プロセス設(shè)備、濕式エッチング洗浄プロセスに使用されています。ボート類製品は直接ウェーハーを載せ、自動で上下するプロセスに使用している為、石英ボートの寸法精度とクリーン度は非常に重要です。

石英機(jī)械加工

各種リングを含め、丸型プレートなどの製品があり、主に半導(dǎo)體ウェーハーのエッチング、沈殿等のプロセスに応用されています。寸法精度、クリーン度、外観狀態(tài)などに非常に高い要求が有り、製品によっては修正不可、一回で成型する必要が有り、高い加工能力が要求されています。

石英冶具

主に積載トレー、ベース、カーバーなどの製品があります。各半導(dǎo)體処理用プロセスの補(bǔ)助設(shè)備に適用され、その精度は適用されたプロセスによって決めます。

石英洗凈

石英槽、石英ホルダーなどの製品を含み。主に半導(dǎo)體濕法エッチング洗浄プロセス上に適用されています。精度に対する要求はさほど厳しくないですが、外観、クリーン度に対する要求が非常に高いです。

耐熱性

光透過性

高純度

電気絶縁

化學(xué)的安定性

Ferrotec精密石英

耐熱性、光透過性、高純度、電気絶縁、化學(xué)的安定性が高い。高精度の石英製品は300nm半導(dǎo)體チップを製作するプロセスに信頼性保証を提供できるだけでなく、太陽光電池業(yè)界の拡散プロセスに低鉄イオン、低銅イオンの要求を満足することも出來、半導(dǎo)體拡散エッチングプロセス、光ファイバー棒の加工、LED照明製造、太陽電池などの工業(yè)分野に広く応用されています。

Matrix diagram of applications in various fields

領(lǐng)域別の適用のマトリクス図

半導(dǎo)體関係

精密石英

半導(dǎo)體ウェーハの拡散、エッチングなどのプロセス；

半導(dǎo)體ウェーハの濕式洗浄プロセス；

半導(dǎo)體シリコンウェーハのEPIなどのプロセス；

エピタキシャルプロセスのMOCVD、チッププロセス；

光ファイバー用プリフォーム：製造工程中の爐心管、バーナー、締め具；