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フェローテック- シール分野の先駆者

フェローシールはシャフトの回転を真空內(nèi)に伝達する製品です。リークや汚染がない為、クリーンな環(huán)境を求められる真空裝置に使用されています。いまや動作伝達裝置に、フェローシールは幅広く応用されています。シリコン結(jié)晶、エレクトロニックポジションインジケーター、スパッタリング、プラズマエッチング、CVD、液晶再生などのプロセスにおいて、フェローシールを使用することで、裝置の無駄停止時間削減に貢獻しています。

磁性流體による真空シール伝動裝置

半導體分野から航空分野まで、フェローシールは厳しい環(huán)境下でも高密封性を持つt保つことでを世界中に認められています。當社は多品種の真空シール、真空ロータリーシール、シールユニット及び真空環(huán)境下での動力伝達の解決策をご提供しています。

マルチシャフトフェローシール

マルチシャフトフェローシールは、半導體プロセスにおけるロボットに幅広く応用されています。更には10-8Torrの超高真空プロセスにも対応可能なフェローシールもご用意しております。

フェロードライブ

フェローテック製フェロードライブは、フェローシール、精密モータとコントローラで構(gòu)成されるモーター一體型シールです。モーター一體型により、お客様での取り付けや調(diào)整の作業(yè)の工數(shù)を削減できます。フェロードライブは、MOCVD、薄膜、光學コーティング、イオンビーム蒸著、イオンビームエッチング、PVD、スパッタリング、イオン注入等に応用されることが多いです。モータ特にサーボモータが必要なプロセスによく応用されています。

ホローシャフトフェローシール

ホローシャフトフェローシールは、カートリッジ機構(gòu)であり既存のシャフトに挿入することができます。回転シャフトとカートリッジのスリーブシャフトとはOリングによってシールされ、クランプによってシャフトとスリーブは固定されます。典型的なホローシャフトフェローシールの応用例としてはスパッタリングで、この他エレクトロン、中性子あるいはイオン注入用のロータリーバキュームユニオン、ロータリーターゲット、そしてX線や光學系裝置があります。ホローシャフトフェローシールには、スルーホールタイプ、フランジタイプを揃えております。

ソリッドシャフトフェローシール

ソリッドシャフトフェローシールには、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプ、フランジ付きタイプ、ヘビーデューティタイプと、幅広い用途に応じた機種を揃えております。シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形狀は小徑の物を除き、キー溝機構(gòu)を標準品として揃えており、その他オプションとして、フラット面、ネジ付、及び穴付などの設(shè)計も可能です。當社のスタンダードフェローシールは、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプの一部を除き、高溫?高荷重あるいは、高速回転使用に対応できる水冷タイプもご用意しております。

フェローシールの特性

ハーメティック
シーリング

フェローシールは、シャフトのステージ上に『磁性流體』で液狀のOリングを形成しております。これによりガス?蒸気?霧?微細粒子に対してハーメティックシールを形成します。シールされた雰囲気からの漏れは、ヘリウムリークディテクタの最高感度(當社Heリークディテクタにて1*10-11torre/sec以下 )でテストしても検出されません。